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昆山雙橋推出SQPS-A100系列胎壓傳感器芯片

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    日前,昆山雙橋傳感器測(cè)控技術(shù)有限公司推出了SQPS-A100系列胎壓傳感器芯片。該系列傳感器用力敏芯片系采用硅微機(jī)械加工技術(shù)制造,采用壓阻原理,系絕對(duì)壓力敏感芯片,采用各向異性腐蝕技術(shù)和硅硅直接鍵合技術(shù)在硅片內(nèi)部形成一個(gè)長(zhǎng)期穩(wěn)定的真空基準(zhǔn)壓力參考腔,在表面硅膜上用集成技術(shù)制作成惠斯頓應(yīng)變檢測(cè)全橋,從而在受力時(shí)輸出與壓力成線性關(guān)系的電壓信號(hào)。

    該系列產(chǎn)品的具體技術(shù)參數(shù)如下: 
▼ 標(biāo)準(zhǔn)壓力量程        100、200、700、1500、3500  KPa  
▼ 最大過(guò)載能力        300 %FS   
▼ 輸入輸出阻抗        5±2 KΩ   
▼ 零位輸出            0±40  mV  
▼ 滿量程輸出          100±40  mV  
▼ 線性度              ≤±0.5  ±%FS  
▼ 遲滯、重復(fù)性        ≤±0.1 %FS   
▼ 未補(bǔ)償零位溫漂      ≤±8 ×10-4/℃.FS  
▼ 恒流供電靈敏度溫漂  ≤±5 ×10-4/℃.FS 
▼ 恒壓供電靈敏度溫漂  ≤-23 ×10-4/℃.FS  
▼ 工作溫度范圍         -40~125  ℃ 

    由于該系列產(chǎn)品具有:固態(tài)元件,三維集成MEMS工藝制造,可靠性高;無(wú)應(yīng)力設(shè)計(jì)與制造,嚴(yán)格自補(bǔ)償濃度控制,穩(wěn)定性好;微型尺寸1mm×1mm×0.5mm,單元成本競(jìng)爭(zhēng)力強(qiáng);使用方便,適合于任何陶瓷、PCD板、TO-8、塑膠微電子封裝等特點(diǎn)。因此可廣泛應(yīng)用于車載輪胎壓力監(jiān)測(cè)系統(tǒng)(TPMS產(chǎn)品)以及攜帶式胎壓計(jì)、大氣壓力計(jì);懸掛、剎車、冷媒、進(jìn)氣歧管壓力等汽車壓力傳感器;空氣動(dòng)力學(xué)用微型絕壓傳感器及通用絕壓傳感器;壓力OEM元件制造等方面。



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